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一种基于逆向排程的晶圆制造风险评估方法 陈广 （上海华力集成电路制造有限公司） 摘要：本文提出一种基于逆向排程的晶圆制造风险评估方法，主要根据工厂年度订单出货计划生成预作业批次，对工厂各产品动态生产周期进行标准化，利用逆向排程思想，倒推工件完成各道工序工艺的可能最晚时间，并形成初期的预作业需求清单，然后统计分析瓶颈机组是否存在过货能力风险，在满足订单当月出货的前提条件下，重新组合预排结果，直至瓶颈机组无过货能力风险或相关订单交期延至月末后终止影响。该方法不仅有效评估晶圆制造风险，而且也为生产提供有利的管理决策依据。 关键词：逆向排程；晶圆制造；风险评估 中图分类号：TP181
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发表于 2025-7-23 05:55
