《纳米集成电路制造工艺（第2版）》作者：张汝京 等【EPUB】

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　　本书共分19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性，DFM（Design for Manufacturing），集成电路检测与分析、集成电路的可靠性，生产控制，良率提升，芯片测试与芯片封装等项目和课题。


　　国内从事半导体产业的科研工作者、技术工作者和研究生可使用本书作为教科书或参考资料。


　　张汝京先生，于美国南方卫理公会大学（Southern Methodist University）取得电子工程博士学位。他曾在德州仪器公司工作过20年，并管理过美国、日本、新加坡、意大利及中国台湾地区等多座半导体工厂的相关业务，在半导体技术以及信息产业的发展规划上，张汝京先生卓越的成就和独到的眼光得到业界公认。


　　更重要的，张汝京先生作为半导体技术方面的创始人，2000年4月，他创办了中国当时最先进的集成电路制造厂——中芯国际集成电路制造有限公司，将国内的半导体加工水平提升到了国际水平，对国内集成电路产业的跨越式发展起到了不可替代的作用。